Prohlášení o ochraně osobních údajů: Vaše soukromí je pro nás velmi důležité. Naše společnost slibuje, že vaše osobní údaje nezveřejní žádné zhoršení bez vašich explicitních povolení.
Model číslo.: Sulphur Hexafluoride CAS: 2551-62-4
Způsob platby: L/C,T/T,Paypal
SURFUR HEXAFLUORIDE CAS: 2551-62-4 SF6 99,999% 5N s vysokou čistotou elektronický speciální plyn
Využití produktu
Hexafluorid síry je bezbarvý, bez zápachu, netoxický, nehořlavý inertní plyn s molekulovou hmotností 146,07, bod tání -51 ° C a bod varu -64 ° C. Molekulární struktura hexafluoridu síry je uspořádána v oktaedenu, vazebná vzdálenost je malá a vazebná energie je vysoká, takže jeho stabilita je vysoká. Elektronický stupeň vysoce čisté síry hexafluoridu je ideální lepták. Hexafluorid síry lze použít k leptání povrchu křemíku a odstranění organických nebo anorganických membrán na polovodičových materiálech a lze jej použít při výrobě optických vláken.
Specifikace kvality
Items |
Units |
Index |
(SF6)Sulfur hexafluoride |
Vol./% |
≥99.999% |
Oxygen+Argon(O2+Ar)≤ |
Vol.ppm |
≤2 |
Nitrogen(N2)≤ |
Vol.ppm |
≤2 |
Carbon tetrafluoride(CF4)≤ |
Vol.ppm |
≤1 |
Carbon monoxide(CO)≤ |
Vol.ppm |
≤0.5 |
Carbon dioxide(CO2)≤ |
Vol.ppm |
≤0.5 |
Methane(CH4)≤ |
Vol.ppm |
≤0.5 |
Moisture(H2O)≤ |
Vol.ppm |
≤3 |
Acidity(以HF计)≤ |
μg |
≤0.1 |
Hydrolytic fluoride(以HF计)≤ |
μg |
≤0.8 |
Total impurity content≤ |
μg |
≤10 |
Particle |
μg |
Supply and demand agreement |
aplikace
Elektronický stupeň s vysokým obsahem čisté síry hexafluorid je ideální elektronické leptání, které se široce používá v oblasti mikroelektronické technologie, používá se jako plazmové leptání a čištění při výrobě velkých integrovaných obvodů, jako jsou počítačové čipy a LCD. Hexafluorid síry se používá jako zdroj fluoru k produkci sklenice dotovaného fluorinem při přípravě optického vlákna. Kromě toho může být hexafluorid síry také použit jako izolační plyn, strojní činidlo a chladivo.
Balení 、 Storage
Hexafluorid síry je uložen ve standardních plynulých válcích, obvykle objem válce je 40L, typ válce je CGA590 QF-2 a tlak válce je 8,0 MPa a 12,5 MPa. Specifické specifikace balení lze přizpůsobit podle požadavků uživatele. Hexafluorid síry je uložen ve stinném a větraném skladu od zdroje ohně a tepla, teplota skladu nepřesahuje 30 ℃. Měl by být samostatně uložen s hořlavým (hořlavým) a oxidačním činidlem. Úložný prostor musí být vybaven nouzovým vybavením pro nouzové situace.
kategorie produktů : Polovodičové elektronické chemické materiály > Elektronický speciální plyn obsahující fluor obsahující fluor
Mobilní stránky
Prohlášení o ochraně osobních údajů: Vaše soukromí je pro nás velmi důležité. Naše společnost slibuje, že vaše osobní údaje nezveřejní žádné zhoršení bez vašich explicitních povolení.
Vyplňte více informací, aby se s vámi mohly rychleji spojit
Prohlášení o ochraně osobních údajů: Vaše soukromí je pro nás velmi důležité. Naše společnost slibuje, že vaše osobní údaje nezveřejní žádné zhoršení bez vašich explicitních povolení.