Suché leptání boronu11 trichlorid polovodičové polovodičové polovodiče
Představení produktu
Při normální teplotě a tlaku je trichlorid borů (BCL 3 ) bezbarvý kouřový plyn, který je hořlavý, štiplavý, kyselý zápach. Trichlorid borů se rozkládá na kyselinu chlorovodíkovou a kyselinu boritou a uvolňuje hodně tepla s vodou, vytváří kouř ve mokrém vzduchu kvůli hydrolýze a BCL 3 se rozkládá na kyselinu chlorovodíku a esteru kyseliny boritové v alkoholu. Trichlorid BORON má silnou reakční schopnost a může tvořit různé koordinační sloučeniny. Trichlorid borů může při zahřívání reagovat se sklem a keramikou a také reaguje s mnoha organickými sloučeninami za vzniku různých organoboronových sloučenin. Trichlorid s vysokou čistotou BORON11 se používá hlavně pro difúzní doping ve výrobním procesu (křemíkových) polovodičových zařízení. Nečistoty boru jsou generovány rozkladem Bcl 3 a difúzních směrem k křemíku za vzniku polovodiče typu p při vysoké teplotě. Bcl 3 lze také použít pro suché leptání AL, MOSI 2 , TASI 2 , TISI 2 , WSI a dalších materiálů.
Specifikace kvality
|
items
|
Units
|
Index
|
|
Boron11 Trichloride≥
|
Vol.%
|
99.9995
|
|
Oxygen+Argon<
|
Vol.ppm
|
1
|
|
Nitrogen<
|
Vol.ppm
|
4
|
|
Ca
rbon monoxide<
|
Vol.ppm
|
0.5
|
|
Carbon dioxide<
|
Vol.ppm
|
0.2
|
|
Methane <
|
Vol.ppm
|
0.5
|
|
Total impurity content≤
|
Vol.ppm
|
5
|
|
Metal ion
|
Vol.ppm
|
Supply and demand agreement
|
aplikace
Trichlorid borů může být použit k výrobě vysoce čistého boru, katalyzátoru pro organickou syntézu, tok činidla pro rozklad silikátu a také se používá jako aditivum deoxidizátoru, nitridů a karbidů při rafinaci slitiny. Vysoký čistý trichlorid BORON11 se používá hlavně při difúzních dopingu, implantaci iontu, suchém leptání a dalších procesech v polovodičových zařízeních a výrobě integrovaných obvodů.
Balení a skladování
Trichlorid BORON11 je naplněn ve válci. Válec naplněný trichloridem BORON11 odpovídá příslušným ustanovením GB14193. Specifikace balení zahrnují 10L a 47L . Je zakázáno vystavit slunci a drží se dál od zdrojů tepla. Balíček musí být utěsněn a měl by být uložen samostatně s alkalií a dalšími nebezpečnými články.
Contact Now
